光譜干涉法
SI 系列

SI 系列

移動量是利用強制執行光譜干涉法的測量儀器量測。
量測頭只有 φ2 mm,即使位置狹窄仍可以量測。

產品特點

  • 1 nm 解析度的超高精度
  • 不受環境溫度的影響
SI-F 系列

SI-F 系列