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基座的偏心率量測

Eccentricity measurement of a susceptor

半導體製造

異常的偏心率會導致生產出不規則的零件

優點

高速採樣和高精度量測會增加週期時間

可應用的產品型錄

瞭解產品的詳細資料

  • LK-G5000 系列 - 超高速/ 高精度 CMOS 雷射位移感測器

    雷射位移感測器必須同時具備速度,精度和卓越性能,方可勝任於所有應用。LK-G5000 採用了國際頂尖技術,力爭在各個方面都做到世界最佳。

  • LK-G3000 系列 - 超高速、高精度CCD雷射位移感測器

    有6種感測頭可供選擇,配合全新演算法和2種級型的光學系統一同使用

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