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透明薄膜的厚度量測

Thickness measurement of transparent films

薄膜加工

可以在生產過程中測量厚度

優點

可以將小型感測器頭放置在多個位置,系統會自動同步執行測量

瞭解產品的詳細資料

  • SI-F 系列 - 微型光譜干涉雷射位移計

    隆重推出世界首創微型感測頭,其擁有同類產品中最高的量測精度,並實現過去認為不可能實現的性能。

  • SI-F80R 系列 - 光譜干涉晶圓測厚儀

    採用近紅外 SLD,即使已貼附 BG 帶也可量測晶圓本身的厚度。即使晶圓表面存在由於圖樣而產生的顯著差異,也可實現準確的生產線上量測。

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