高功率數位超音波感測器

FW 系列

半導體/電子/電器

冠軍級超音波感測器性能,適合各種應用

在清潔過程中檢測晶圓

在清潔過程中檢測晶圓

在切割完成後可以立即在一個佈滿蒸氣的環境下對潮濕的晶圓進行可靠的檢測。

在傳送過程中檢測基片切口

在傳送過程中檢測基片切口

由於基片顏色和切口的關係,通過傳統光電感測器勢必無法保證檢測的穩定性,同時還會發出咯咯的雜音。FW系列可以不受顏色和細小切口的影響,確保檢測的穩定性。

控制帶狀物張力

控制帶狀物張力

由於物體呈透明狀且表面不規則,因此通過光電感測器很難進行檢測。FW系列可以確保檢測的可靠性,且不會受到凸出部位和凹陷部位的影響。此外,兩組輸出可用於單獨輸出上限和下限。

從某個角度檢測晶圓

從某個角度檢測晶圓

由於超薄的晶圓和背景之間的高度差非常小,因而使得檢測很難進行。FW系列可以從某個角度發出超音速波,在晶圓邊緣處產生輕微反射,從而確保檢測的穩定性。

檢測卡匝的晶圓

檢測卡匝的晶圓

FW系列可用於檢測餘留的晶圓。由於晶圓表面的薄膜會吸收光束,因而通過反射型感測器很難進行檢測。FW系列不會受到表面薄膜或光滑背景的影響。

控制清洗液的液位

控制清洗液的液位

FW系列可用於控制液位。兩組輸出可用於單獨輸出上限和下限。此外,通過專門的液位檢測模式只需簡單的設置就可以進行多種控制。

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