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彩色 3D 雷射掃描顯微鏡

VK-8700/9700 系列 GenerationII

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型號

VK-8500

VK-8510

類型

控制器

量測部

物鏡的倍率

15"顯示器上的倍率200

10倍

15"顯示器上的倍率400

20倍

15"顯示器上的倍率1000

50倍

15"顯示器上的倍率2000

100倍

觀察量測範圍(μm)

彩色

橫向(H)

15"顯示器上的倍率200

1390

15"顯示器上的倍率400

695

15"顯示器上的倍率1000

278

15"顯示器上的倍率2000

139

縱向(V)

15"顯示器上的倍率200

1053

15"顯示器上的倍率400

526

15"顯示器上的倍率1000

210

15"顯示器上的倍率2000

105

黑白

橫向(H)

15"顯示器上的倍率200

1479

15"顯示器上的倍率400

739

15"顯示器上的倍率1000

295

15"顯示器上的倍率2000

147

縱向(V)

15"顯示器上的倍率200

1109

15"顯示器上的倍率400

554

15"顯示器上的倍率1000

221

15"顯示器上的倍率2000

110

工作距離: mm

15"顯示器上的倍率200

16.5

15"顯示器上的倍率400

3.1

15"顯示器上的倍率1000

0.54

15"顯示器上的倍率2000

0.3

開口數 NA

15"顯示器上的倍率200

15"顯示器上的倍率400

0.46

15"顯示器上的倍率1000

0.8

15"顯示器上的倍率2000

0.95

高度量測範圍:mm

7*2

高度方向最小量測解析度:μm

0.01

高度方向重覆量測精度σ:μm

0.03*3

顯示解析度(像素)

彩色

962×729

黑白

1024×768

畫面格速率

對於彩色影像

1024×768×8bit×3

對於黑白影像

1024×768×8bit

高度用

1024×768×20bit

畫格速率:(Hz)

彩色

6

黑白

9

線以及膜厚

1000

光學變焦

2×、4×

數位變焦*1

2×、3×

用於量測的雷射光束光源

波長

685nm

控制輸出

0.45 mW

雷射分類

JIS 2類

觀察用白色光源

燈泡

50W鹵素燈

使用壽命

2000小時(平均)

色溫

3000K(MAX時)

CAMERA

攝像裝置

彩色 CCD 影像感測器

增益

可調整

快門速度

白平衡

3200K/AUTO/MANUAL/PUSHSET

有Y珈瑪

有Y珈瑪

Z 座標台

衝程

28mm

試料最大高度

28mm*4

XY載物台

衝程

70 x 70mm

試料最大縱深

159mm*5

耐受重量

5 kg

座標台

旋轉

360度

輸出

類比RGB

1024像素×768像素水平48.4KHz  垂直60.6Hz

SCSI

符合SCSI-2標準微小迷你型 50針

AC輸出

2個系統 最大2A

電源

電源電壓

100至240VAC±10% 50/60Hz

耗電量

300VA以下

重量

約9.5kg

約22kg*6

*1 透過重複,可實現3 ×以上
*2 根據所使用物鏡而發生變化。
*3 使用100 ×物鏡量測標準高度差2μm時
*4 使用選購件的墊片以及頭分離可相隔100mm以上
*5 使用選購件的墊片以及頭分離可相隔159mm以上。
*6 量測部與基座的合計重量。量測頭分離時,量測頭單體的重量約為8.5kg

型號

VK-8710

VK-8700

型式

顯微鏡

控制器

物鏡的倍率

15" 顯示器的倍率 200

10 倍

15" 顯示器的倍率 400

20 倍

15" 顯示器的倍率 1000

50 倍

15" 顯示器的倍率 2000

100 倍

15" 顯示器的倍率 3000

-

觀察/量測範圍 *1

水平 (H): μm

15" 顯示器的倍率 200

1350

15" 顯示器的倍率 400

675

15" 顯示器的倍率 1000

270

15" 顯示器的倍率 2000

135

15" 顯示器的倍率 3000

-

垂直 (H): μm

15" 顯示器的倍率 200

1012

15" 顯示器的倍率 400

506

15" 顯示器的倍率 1000

202

15" 顯示器的倍率 2000

101

15" 顯示器的倍率 3000

-

工作距離: mm

15" 顯示器的倍率 200

16.5

15" 顯示器的倍率 400

3.1

15" 顯示器的倍率 1000

0.54

15" 顯示器的倍率 2000

0.3

15" 顯示器的倍率 3000

-

數值孔徑 (N.A)

15" 顯示器的倍率 200

0.3

15" 顯示器的倍率 400

0.46

15" 顯示器的倍率 1000

0.8

15" 顯示器的倍率 2000

0.95

15" 顯示器的倍率 3000

-

觀察/量測用光學系統

針孔共焦光學系統

高度量測

量測範圍

7 mm

顯示解析度

0.01 μm

重複精度

0.03 μm *2

寬度量測

顯示解析度

0.01 μm

重複精度

0.03 μm *3

畫面格速率 (Hz)

像素計數

2048 x 1536, 1024 x 768

對於黑白影像

14 位元

對於彩色影像

RGB 各 8 位元

對於高度量測

20 位元

光學變焦

1 倍 至 6 倍

自動功能

AAG (自動增益)、自動對焦、RPD

用於量測的雷射光束光源

波長

紅光雷射 658 nm

輸出

0.9 mW

雷射分類

II 類 (FDA (CDRH) Part 1040.10),2 類 (IEC 60825-1)

受光元件

PMT (光電倍增管)

用於光學觀察的光源

100 W 鹵素燈

用於光學觀察的彩色
CAMERA

攝像裝置

彩色 CCD 影像感測器

自動調整

增益、快門速度

資料處理裝置

由 KEYENCE 隨 VK-8700 一起提供的專用 PC

電源

電源電壓

100 至 240 VAC, 50/60 Hz

消耗電流

最大 400 VA

重量

約 25 kg (拆去量測頭時: 約 8.5 kg)

約 11 kg

*1 觀察/量測範圍是最小視野範圍。
*2 使用 50 倍物鏡測量標準高度差為 2 μm 時。
*3 使用 100 倍物鏡以直線頂點模式 (影像平均: 8 次) 測量 KEYENCE 參考圖
1 μm 線寬的直線時。

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