光譜干涉晶圓測厚儀SI-F80R 系列

SI-FD500

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產品規格

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型號

SI-FD500

類型

主控制器 獨立型*1

可連接的光譜模組數

2

顯示器

最小顯示單位

0.001 µm

顯示範圍

±999.999 µm 至 ±9999.99 mm(可選 7 種設定)

顯示週期

10 次/秒

端子台

雷射遠程聯鎖輸入

非電壓輸入*2

定時1 輸入

非電壓輸入 2*2

重置1 輸入

非電壓輸入*2

自動歸零1 輸入

雷射控制輸入

類比電壓輸出

±10 V x 2 輸入,輸出電阻:100 Ω*2

類比電流輸出

4 至 20 mA x 2 輸出,最大負載電阻:350 Ω*2

警報輸出

NPN 開路集電極輸出(N.C.)*2

通用比較器輸出

NPN 開路集電極輸出*2

擴充介面

定時輸入

非電壓輸入 2*2

重置輸入

非電壓輸入*2

自動歸零輸入

程式切換輸入

非電壓輸入 x 3 輸入*2

警報輸出

NPN 開路集電極輸出(N.C.)*2

判定/ 二進位輸出

二進位輸出

量測資料輸出 (21 位), 可選 OUT 的 NPN 開路集電極輸出*2

選通脈衝輸出

NPN 開路集電極輸出*2

二進位選取輸出

二進位選取輸入

非電壓輸入*2

RS-232C 介面

量測資料輸出和控制輸入/輸出 (波特率最高可選取 115200 bps)

USB 介面

相容 2.0 HighSpeed(相容 USB 1.1 Full-SPEED)

Ethernet 介面

100Base-TX/10Base-T

主要功能

12 個 OUT 同時量測
計算、平均、濾波器、換算量測、量測值警報、公差設定、自動歸零,資料儲存, 光線監控器、8 程式記憶體。
干涉計模式、遮罩、設定支持軟體連接等。

額定

電源電壓

最大 24 VDC±10% 脈動 10% (P-P)

電流消耗

連接 1 個感測頭時:0.6 A 以下連接 6 個感測頭時:1.5 A 以下。

環境抗耐性

環境溫度

0 到 +50°C*3

相對濕度

35 到 85% RH (無冷凝)

防震動

10 到 55Hz 雙振幅1.5mm X、Y、Z各方向2小時

質量

約600 g

*1 可獨立使用 SI-F1003。可使用顯示屏 (SI-FD500)和設定支持軟體 (SI-H13)顯示量測值並更改設定。
*2 ‧ NPN 開路集電額定輸出:最大 50 mA(最大 40 V),殘餘電壓:最大 0.5 V。
‧ 非電壓額定輸入:啟動電壓:最大 1 V,關閉電流:最大 0.6 mA。
‧ SI 系列的部分輸入/輸出電路是內部共用電路。請注意,內部公共端之間不會因連接線/外部設備之間的電位差而產生電位差。
要瞭解詳細信息,請參見「接線注意事項」。
*3 當連接兩個或更多擴充控制器時,環境溫度為 0 到 40°C。

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