光譜干涉晶圓測厚儀SI-F80R 系列

SI-FA103

感測頭擴展模組 不可用於匯出控制

產品規格

選取語言

型號

SI-FA103

獨立型

類型

擴充控制器*1

可連接的光譜模組數

1

顯示器

最小顯示單位

顯示範圍

顯示週期

端子台

雷射遠程聯鎖輸入

*2

定時1 輸入

重置1 輸入

自動歸零1 輸入

雷射控制輸入

類比電壓輸出

±10 V x 1 輸入,輸出電阻:100 Ω*2

類比電流輸出

4 至 20 mA x 1 輸出,最大負載電阻:350 Ω*2

警報輸出

*2

通用比較器輸出

擴充介面

定時輸入

重置輸入

自動歸零輸入

程式切換輸入

警報輸出

判定/ 二進位輸出

二進位輸出

選通脈衝輸出

二進位選取輸出

二進位選取輸入

RS-232C 介面

USB 介面

Ethernet 介面

主要功能

12 個 OUT 同時量測
計算、平均、濾波器、換算量測、量測值警報、公差設定、自動歸零,資料儲存, 光線監控器、8 程式記憶體。
干涉計模式、遮罩、設定支持軟體連接等。

額定

電源電壓

隨主控制器提供

電流消耗

環境抗耐性

環境溫度

0 到 +50°C*3

相對濕度

35 到 85% RH (無冷凝)

防震動

10 到 55Hz 雙振幅1.5mm X、Y、Z各方向2小時

質量

約300 g

*1 最多可在主控制器上連接 4 個擴充控制器。
*2 ‧ NPN 開路集電額定輸出:最大 50 mA(最大 40 V),殘餘電壓:最大 0.5 V。
‧ 非電壓額定輸入:啟動電壓:最大 1 V,關閉電流:最大 0.6 mA。
‧ SI 系列的部分輸入/輸出電路是內部共用電路。請注意,內部公共端之間不會因連接線/外部設備之間的電位差而產生電位差。
要瞭解詳細信息,請參見「接線注意事項」。
*3 當連接兩個或更多擴充控制器時,環境溫度為 0 到 40°C。

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