光譜干涉晶圓測厚儀SI-F80R 系列

SI-F80R

感測頭 晶圓厚度量測型

產品規格

選取語言

型號

SI-F80R*1

類型

晶圓厚度量測型 感測頭

量測範圍

10 到 310 µm (n=3.5 時)*2

可實現的檢測距離

80 到 81.1 mm

光源

紅外 SLD 輸出 0.6 mW, 第1 類雷射產品(IEC60825-1,FDA(CDRH)Part 1040.10 *3

光束直徑

ø25 µm*4

線性度

±0.1 µm*5

解析度

0.25 µm*6

取樣周期

200 µs

LED 指示器

目標靠近量測中心 : 綠光。目標在量測範圍內 : 橙光。目標在量測範圍外 : 橙光閃爍。

溫度波動

環境抗耐性

外殼防護等級

IP64

環境光

白熾燈或螢光燈 : 最大 10000 lux

環境溫度

0 到 +50°C

相對濕度

35 到 85% RH (無冷凝)

防震動

10 到 55 Hz, X、Y、Z 方向上 1.5 mm 雙倍振幅,各 2 小時

材質

SUS

質量

約70 g(含連接線)

*1 感測頭和光譜模組成對校準。兩者不可互換。
*2 表示折射率為 3.5 時的厚度量測範圍。 (折射率為 1 時厚度量測範圍為 35 到 1100 µm)
*3 FDA (CDRH) 的雷射分類是基於 IEC60825-1 並根據 Laser Notice No.50 的要求而實施的。
*4 表示量測範圍內的最小光束直徑。
*5 量測兩塊玻璃板間隙並將平均量測次數設為 256 (轉換為折射率就是 3.5) 時獲得的值。
*6 在檢測距離內量測厚度為 0.3 mm 的玻璃對象並將平均量測次數設為 4096 時獲得的值。

推薦本頁訪客參考的技術資料

    量測應用指南

    量測數據庫

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