光譜干涉晶圓測厚儀

SI-F80R 系列

精確地只量測晶圓厚度

SI-F80R 系列使用近紅外 SLD,可穿過矽、砷化鎵、碳化矽、磷化銦、非晶矽及其它半導體。 即使晶圓已貼上 BG(研磨)膠,也可精確測出晶圓厚度。

SI-F80R

精確地只量測晶圓厚度

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