光譜干涉晶圓測厚儀

SI-F80R 系列

幾乎不受晶圓圖案的影響

透過降低光束直徑和光點內的表面相差,可大幅減少晶圓表面圖案的變化和量測警報的發生次數。

圖案化矽晶圓厚度分佈數據

幾乎不受晶圓圖案的影響

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