微型光譜干涉雷射位移計

SI-F 系列

選取語言

型號

SI-F01

SI-F10

SI-F80

類型

微型頭類型 感測頭

長距離型 感測頭

厚度量測型 感測頭

量測範圍

0.05 至 1.1mm*1

11.3 至 12.35mm*5

0.05 至 1.1mm*6 (可檢測距離為80 至 81.1mm)

量測用光源

紅色SLD 中心波長820nm 最大0.6mW 1類 (JIS C6802)

光點直徑

ø20 µm*2

ø40 µm*2

ø20 µm*2

線性

±0.3 µm*3

±0.3 µm*7

解析度

0.25 µm*4

取樣週期

200 µs

導向用光源

紅色LD 650nm 最大0.1mW 1類 (JIS C6802)

LED顯示

靠近量測中心: 綠光, 在量測區域以內: 橙色光, 在量測區域以外: 閃爍橙色光

溫度特性

F.S./°C的0.01%

環境抗耐性

外殼防護等級

IP67

IP64

環境溫度

0 至 +85°C

0 至 40°C

0 至 +50°C

環境照度

白熾燈或螢光燈:最大10000 lux

相對濕度

35 到85% RH (無冷凝)

防震動

10 至 55Hz 雙振幅1.5mm X、Y、Z各方向2小時

材質

SUS

材質

感測頭

光譜模組

聚碳酸酯

質量

約24 g (含連接線)

約38 g (含連接線)

約39 g (含連接線)

*1 表示從感測頭前面起的距離。另外,長距離型從感測頭前面起的距離存在最大±0.2mm的個體差。
*2 表示量測範圍內的最小光束直徑。
*3 當量測對象是玻璃板,且將平均量測次數設為 256 時獲得的值。
*4 當量測位於量測範圍中心的玻璃板表面,且將平均量測次數設為 4096 時獲得的值。
*5 表示從感測頭前面起的距離。另外,對於長距離型,從感測頭前面起的距離存在最大±0.2mm的個體差。
*6 厚度量測型感測頭顯示玻璃板間距的量測範圍。請確保量測對象位於檢測距離範圍內。
*7 當量測兩塊玻璃板間隙,且將平均量測次數設為 256 時獲得的值。

型號

SI-F1003V

SI-FA103

獨立型

SI-F1003/SI-FD500

類型

主控制器 一體型

擴充控制器*3

可連接的光譜模組數

2

1

顯示器

最小顯示單位

0.001 µm

顯示範圍

±999.999 µm 至 ±9999.99 mm(可選 7 種設定)

顯示週期

10 次/秒

端子台

雷射遠程聯鎖輸入

非電壓輸入*1

*1

定時1 輸入

非電壓輸入 2*1

重置1 輸入

非電壓輸入*1

自動歸零1 輸入

雷射控制輸入

類比電壓輸出

±10 V x 2 輸入,輸出電阻:100 Ω*1

±10 V x 1 輸入,輸出電阻:100 Ω*1

類比電流輸出

4 至 20 mA x 2 輸出,最大負載電阻:350 Ω*1

4 至 20 mA x 1 輸出,最大負載電阻:350 Ω*1

警報輸出

NPN 開路集電極輸出(N.C.)*1

*1

通用比較器輸出

NPN 開路集電極輸出*1

擴充介面

定時輸入

非電壓輸入 2*1

重置輸入

非電壓輸入*1

自動歸零輸入

程式切換輸入

非電壓輸入 x 3 輸入*1

警報輸出

NPN 開路集電極輸出(N.C.)*1

判定/ 二進位輸出

二進位輸出

量測資料輸出 (21 位), 可選 OUT 的 NPN 開路集電極輸出*1

選通脈衝輸出

NPN 開路集電極輸出*1

二進位選取輸出

二進位選取輸入

非電壓輸入*1

RS-232C 介面

量測資料輸出和控制輸入/輸出 (波特率最高可選取 115200 bps)

USB 介面

相容 2.0 HighSpeed(相容 USB 1.1 Full-SPEED)

Ethernet 介面

100Base-TX/10Base-T

主要功能

12 個 OUT 同時量測
計算、平均、濾波器、換算量測、量測值警報、公差設定、自動歸零,資料儲存, 光線監控器、8 程式記憶體。
干涉計模式、遮罩、設定支持軟體連接等。

額定

電源電壓

最大 24 VDC±10% 脈動 10% (P-P)

隨主控制器提供

電流消耗

連接 1 個感測頭時:0.6 A 以下連接 6 個感測頭時:1.5 A 以下。

環境抗耐性

環境溫度

0 到 +50°C*2

相對濕度

35 到 85% RH (無冷凝)

防震動

10 到 55Hz 雙振幅1.5mm X、Y、Z各方向2小時

質量

約600 g

約300 g

*1 ‧ NPN 開路集電額定輸出:最大 50 mA(最大 40 V),殘餘電壓:最大 0.5 V。
‧ 非電壓額定輸入:啟動電壓:最大 1 V,關閉電流:最大 0.6 mA。
‧ SI 系列的部分輸入/輸出電路是內部共用電路。請注意,內部公共端之間不會因連接線/外部設備之間的電位差而產生電位差。
要瞭解詳細信息,請參見「接線注意事項」。
*2 當連接兩個或更多擴充控制器時,環境溫度為 0 到 40°C。
*3 最多可在主控制器上連接 4 個擴充控制器。

推薦本頁訪客參考的技術資料

    量測應用指南

    量測數據庫

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