微型光譜干涉雷射位移計

SI-F 系列

SI-F 系列微型光譜干涉雷射位移計產品應用

在自動化應用和傳感應用中無可挑剔的表現。

量測晶圓厚度

微型感測頭可用於量測矽晶圓等精密物體的厚度和翹曲度。

量測晶圓厚度

[優點]
超高解析度

0.25 μm 的解析度

多功能控制器

算術運算電路將量測資料即時轉換為厚度。

不發熱

感測頭中沒有電子部件,不會產生熱量。

量測複印機中的滾輪的動作。

微型感測頭可用於量測影印機等精密機械中的各個部件的動作。

量測複印機中的滾輪的動作。

[優點]
ø2 mm 微型感測頭

無需預留安裝位置。

最高可承受 85°C

即使緊靠發熱的機身也能進行量測。

5-kHz 高速取樣

即使是高速目標也可安全地量測。

定位高精度載物台

微型感測頭可用於檢測載物台停止的位置,因此可將實際值與參考值的差值反饋給相關設備。

定位高精度載物台

[優點]
10 mm 以上的設定距離

無碰撞危險。

最多 6 軸同時量測

實現無時間誤差的多軸控制。

ø8 mm 小型感測頭

無需預留安裝位置。

高精度量測滾輪的偏轉。

微型感測頭可用於量測各種要求精確量測的滾輪(例如膠滾輪)的偏轉。

高精度量測滾輪的偏轉。

[優點]
對工件無傷害

非接觸量測方式避免損傷工件。

直接表示偏轉度

控制器即時算出並顯示偏轉度。

5-kHz 高速取樣

可緊跟高速旋轉的目標物。

量測曝光光罩的間隙

微型感測頭可用於量測曝光光罩和玻璃基板的間隙。

量測曝光光罩的間隙

[優點]
80 mm 的設定距離

即使光罩較厚亦可安裝微型感測頭。

ø12 mm 小型感測頭

無需預留安裝位置。

不發熱

感測頭中沒有電子部件,不會產生熱量。

量測玻璃盤的厚度

微型感測頭可用於量測玻璃盤等光學透明物體的厚度。

量測玻璃盤的厚度

[優點]
超高解析度

0.25 μm 的解析度

5-kHz 高速取樣

可量測高速旋轉的目標的厚度。

最多 6 軸同時量測

實現無時間誤差的多軸控制。

推薦本頁訪客參考的技術資料

    量測應用指南

    量測數據庫

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