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光譜干涉式位移計

SI-F 系列

依量測應用選擇

產品陣容

下列為 2 系列

下列為 2 系列

停產的系列:

SI-F 系列 - 微型光譜干涉雷射位移計

隆重推出世界首創微型感測頭,其擁有同類產品中最高的量測精度,並實現過去認為不可能實現的性能。

SI-F80R 系列 - 光譜干涉晶圓測厚儀

採用近紅外 SLD,即使已貼附 BG 帶也可量測晶圓本身的厚度。即使晶圓表面存在由於圖樣而產生的顯著差異,也可實現準確的生產線上量測。

推薦本頁訪客參考的技術資料

    量測應用指南

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