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能應對所有應用檢測感測器/系統 |
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全新的尺寸分析系統，可執行即時量測，顛覆了傳統的計量技術。資料獲取系統使用了與具備業界最高解析度的數位顯微鏡相同的光學技術，同時應用了與影像系統強大的問題解決能力密切相關的影像處理技術，更配備了實現工廠自動化環境所需的可靠性。 |
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隆重推出世界首創微型感測頭，其擁有同類產品中最高的量測精度，並實現過去認為不可能實現的性能。 |
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採用近紅外 SLD，即使已貼附 BG 帶也可量測晶圓本身的厚度。即使晶圓表面存在由於圖樣而產生的顯著差異，也可實現準確的生產線上量測。 |
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LJ-G系列可在X及Z方向上精確量測物體表面的輪廓。
可透過28種量測模式量測表面輪廓上的高度、寬度及間隙。 |
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雷射位移感測器必須同時具備速度，精度和卓越性能，方可勝任於所有應用。LK-G5000 採用了國際頂尖技術，力爭在各個方面都做到世界最佳。 |
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有6種感測頭可供選擇，配合全新演算法和2種級型的光學系統一同使用 |
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雙掃描高精密度雷射測定器。 Z 軸掃描: 的高解析度可測定所有的。 X 軸掃描: 追求功能性和穩定性。 |
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LK是一種鐳射位移感測器，擁有1-μm的重覆精度和30微米直徑的光束點。它的主要特色有KEYENCE特製CCD和LFTC測量專利技術。 |
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具有高通和低通濾波器,高速取樣率與3色顯示的多點數位線性器 |
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LB-1000系列發射器與接收器採用了一種球面玻璃鏡頭以減低光學像差。 |
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快速、高精度，此數位式位移感測器具有高解析度及40,000次取樣速度等特點。 |
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以F.S.的0.03%的解析度量測標的物的位移。其電壓(0-5VDC) 或電流(2-40mA)輸出可連接至外部設備。 使用內建的線性化電路。 |
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EX-200系列提供最高達18kHz(以EX-305)的響應頻率，可以量測快速擺動的物體。 |
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具有高通和低通濾波器,高速取樣率與3色顯示的多點數位線性器 |
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利用穿透技術、具有0.01微米高解析度、每秒2400個樣本的高速取樣的智能光學測微計。 |
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智能的I 系列由高精度的感測器陣容組成，實現低成本、高性能的需求，為現場操作提供了最先進的功能。 |
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高速雷射掃瞄測微計可同時使用四套傳感頭和一個控制器，還可以用生產線速度作次微米測量。 |
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支援和服務 |
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