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| 利用共焦點和音叉的高精密度測定方式。以往的10 倍。 |
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| 追求功能性和穩定性的橫向掃描模式。利用搖動元件進行高精密度掃描。 |
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| 追求現場操作的便利性。以優異的操作性能來提供後備支援。 |
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| 根據共焦點原理，可以穩定地測定透明體的表面、膜厚、厚度。 |
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| 由掃描定點後所得之複數點測定值，以0.01 度為單位來測量角度。 |
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