表面掃描雷射共焦位移計LT-9000 系列

LT-9031

感測頭 不可用於匯出控制 不含CAMERA功能

產品規格

選取語言

型號

LT-9031

類型

長範圍型

量測範圍

±1.0 mm

基準距離

30 mm

光源

類型

紅光半導體雷射

波長

655 nm

輸出

170 μW (IEC 60825-1)/3.0 μW (FDA (CDRH) Part 1040.10)

雷射分類

IIa 類雷射產品 (FDA (CDRH) Part 1040.10)
1 類雷射產品 (IEC 60825-1)

光點直徑

約 ø7 μm

掃描寬度/間隔

0 至 560 μm (6 步驟)/
1 至 8 μm (4 步驟)

解析度

0.3 μm*1

線性度

F.S. 的 ±0.3%*1

取樣週期

640 μs 至 187 ms (14 步驟)*2

顯示

最小顯示單位

0.1 μm *3

顯示範圍

±9,999.99 μm

顯微鏡功能

顯示頻率

10 次/秒*4

接線板

模擬輸出

±10 V x 2 輸出, 輸出阻抗: 100 Ω

計時輸入

無電壓輸入

重設輸入

自動歸零輸入

顯示器專用電源

24VDC*5

控制器I/O

判斷模式

3 步限制值輸出

OUT1 以及 OUT2 用,NPN 開放集極輸出*6

二進位模式

二進位輸出

量測資料輸出 (21 bit), 可選擇 OUT1/OUT2/形狀
NPN 型開放集極輸出*6

閃光輸出

NPN 型開放集極輸出*6

二進位選擇器輸出

二進位選擇輸入

無電壓輸入*6

穩定度輸出

NPN 型開放集極輸出

雷射遙控輸入

無電壓輸入

程式切換輸入

無電壓輸入 x 3

RS-232C 介面

量測資料輸出及控制 I/O (可選擇最大輸出鮑率 115,200 bps)

視訊輸出

NTSC 標準規格 (針式連接頭)

顯微鏡功能

功能有無

N/A

視野

型式

照明光源

主要功能

位移模式

距離量測,透明物厚度量測,表面選擇,反黑,遮罩,
趨勢圖顯示以及掃描寬度/間隔變更*7

形狀模式

*7

一般功能

光量計算,顯微鏡 (僅在 LT-9501H, LT-9501HSO (5654)),公差判定,8 程式登錄,
校正,平均計算,保持模式,自動歸零以及介面語言選擇

溫度特性 (20 至 30°C)

F.S. 的 ±0.25%

額定

電源電壓

100 至 240 VAC ±10% 50/60 Hz

耗電量

最大 110 VA

環境抗耐性

過電壓類別

II

污染等級

2

環境照度

白熱燈/日光燈: 最大 10,000 lux

環境溫度

0 至 35°C

相對濕度

35% 至 85%RH (無凝結)

質量

約 500 g

*1 該數值是以量測目標物為鏡面物於位移模式進行量測時的數值,掃描寬度/間隔為 (120 μm) 2 μm,平均 8 次。
*2 取樣頻率會依照不同的量測裝置而有所不同。
該數值是將 FINE 模式關掉時的數值。
*3 顯示每 ±0.3 μm 的變化。
*4 按照設定有所不同。
*5 由 KEYENCE 指定的顯示器專用電源供應器。
*6 選擇限制模式或二進位模式。
*7 選擇 Distance (距離) 模式或 Profile (剖面) 模式。僅 LT-9501HSO (5654) 和 LT-9001HSO (5655) 有距離模式。
NPN 型開放極集輸出的額定值最大 30 mA (30 V 或以下),殘餘電壓 0.5 V。
無電壓輸入的額定值 ON (開啟) 電壓 1 V 或以下;OFF (關閉) 電流 0.6 mA 或以下。

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