表面掃描雷射共焦位移計

LT-9000 系列

Z 軸掃描

精密以往的10 倍

Z 軸掃描

0.3µm 的高解析度可測定所有的對象物

利用共焦點和音叉的高精密度測定方式

雷射光籍由音叉透過高速上下移動且通過對物透鏡後,在受測對象物上結合為一焦點。同時反射光也會在針孔位置集合為一點,並使受光元件受光。藉由感測器測定入光瞬間的對物透鏡之位置,因此至目標物間的距離能不受材質、顏色、或傾斜度的影響而能正確地測定。

高角度特性

改善了高性能檢測

因同軸方式實現了高性能檢測

焦點未對準對象物時

焦點未對準對象物

反射光幾乎無法透過針孔。

焦點對準對象物時

焦點對準對象物

反射光可以透過針孔。

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