IM-6120
[大視野型]
IM-6025/6015
[通用型]
IM-6140
[高精度型]
視野 φ100×200mm
☐25×125mm
φ100mm
φ25mm
φ6mm
重複精度 固定座標台:±1 μm 
移動座標台:±2 μm
固定座標台:±0.5 μm 
移動座標台:±1.5 μm
±1μm
±0.5μm
±0.1μm
照明系統
自動調整高度