形狀測量雷射顯微鏡VK-X 系列

VK-X260K

量測部

產品規格

選取語言

型號

VK-X260K

綜合倍率

至28000倍*1

視野 (最小視野範圍)

11 µm 至 5400 µm

掃描頻率

雷射量測速度

4 至120 Hz、7900 Hz*2

量測原理

光學系統

針孔共焦光學系統

受光元件

光電倍增管、16 位元感測

掃描方式 (一般量測時及影像連接時)

自動上下限設定功能 高速光量最佳化功能(AAG Ⅱ) 反射光量不足插補功能(雙掃描)

高度量測

顯示解析度

0.5 nm

線性尺規

動態量程 (根據工件的受光量的適應幅度)

16 位元

重複精度 σ

20 倍40 nm、50 倍12 nm、150 倍12 nm*3

Z軸量測用記憶體

1400 萬步級

Z 載物台組成

結構

量測頭分離結構

最大試料高度

28 mm、128 mm(選購件)

寬度量測

顯示解析度

1 nm

重複精度 3σ

20 倍100 nm、50 倍40 nm、150 倍20 nm*3

XY 載物台構造

手動 運轉範圍

70 mm×70 mm

電動 運轉範圍

50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm*4

觀察

觀察影像

超高精細彩色CCD 影像
16 位元雷射彩色共焦影像
共焦點+ ND 濾波器光學系統
C- 雷射微分干涉影像

最大拍攝解析度

3072×2304

用於量測的
雷射光束光源

波長

紫光雷射 408 nm

量測用雷射光源

最大輸出

0.95 mW

雷射分類

第 2 類雷射製品(IEC60825-1)

重量

量測頭

約 26 kg (分離時量測頭單體: 約 10 kg)

控制器

約 11 kg

*1 23 吋顯示器標示。
*2 在量測模式/ 量測品質/ 鏡頭倍率的組合下為最快的情形。線性掃描的量測間距為0.1µm 以內時。
*3 在周圍溫度為20±2℃ 的情況下,以20 倍以上的鏡頭量測標準試料(基準尺規)時。但VK-X120/130 的100 倍鏡頭除外。
*4 安裝電動載物台時。

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