形狀測量雷射顯微鏡VK-X 系列

VK-X110

形狀量測雷射顯微鏡

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VK-X110 - 形狀量測雷射顯微鏡

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型號

VK-X110

類型

顯微鏡

物鏡的倍率

15" 顯示器的倍率 200 倍

10倍

15" 顯示器的倍率 400 倍

20倍

15" 顯示器的倍率 1000 倍

50倍

15" 顯示器的倍率 2000 倍

100倍

觀察/ 量測範圍

水平 (H): μm

15" 顯示器的倍率 200 倍

1350

15" 顯示器的倍率 400 倍

675

15" 顯示器的倍率 1000 倍

270

15" 顯示器的倍率 2000 倍

135

垂直 (V): μm

15" 顯示器的倍率 200 倍

1012

15" 顯示器的倍率 400 倍

506

15" 顯示器的倍率 1000 倍

202

15" 顯示器的倍率 2000 倍

101

工作距離: mm

15" 顯示器的倍率 200 倍

16.5

15" 顯示器的倍率 400 倍

3.1

15" 顯示器的倍率 1000 倍

0.54

15" 顯示器的倍率 2000 倍

0.3

數值孔徑 (N.A)

15" 顯示器的倍率 200 倍

15" 顯示器的倍率 400 倍

0.46

15" 顯示器的倍率 1000 倍

0.8

15" 顯示器的倍率 2000 倍

0.95

光學變焦

1 至 8 倍

綜合倍率

200 至 16000 倍

觀察/ 量測用光學系統

針孔共焦光學系統

高度量測

量測範圍

7 mm

顯示解析度

0.005 μm

重複精度 σ

0.02 μm *1

寬度量測

顯示解析度

0.01 μm

重複精度 3σ

0.03 μm *2

畫面格速率

像素計數

2048 x 1536, 1024 x 768, 1024 x 64

對於黑白影像

16 位元

對於彩色影像

RGB 各 8 位元

對於高度量測

21 位元

掃描頻率

面掃描

4 至 120 Hz

線掃描

7900 Hz

自動功能

AAG (自動增益)、自動對焦, 自動設定上下限, 雙掃描的光度設定

用於量測的
雷射光束光源

波長

紅色半導體雷射, 658 nm

量測用雷射光源

最大輸出

0.95 mW

雷射分類

第 2 類雷射產品 (IEC 60825-1,FDA (CDRH) Part1040.10) *3

受光元件

PMT (光電倍增管)

用於光學觀察的光源

100 W 鹵素燈

用於光學觀察的
彩色 CAMERA

攝像裝置

1/3 英呎彩色CCD 圖像傳感器

拍攝解析度

超高精細 (3072 x 2304)

自動調整

增益、快門速度

資料處理裝置

由 KEYENCE 隨 VK-X 一起提供的專用 PC (OS: Windows 7 Professional Edition) *4

軟體部

自動對焦軟體

觀察時自動對焦的軟體

像素位移軟體

在拍攝圖像之際,位移像素後進行拍攝,一次提高拍攝像素的軟體

HDR功能軟體

以16bit獲取資料,並對圖像的顯示實施最優化的軟體

RPD功能軟體

快速、正確檢測量測結果的運算法

AAG功能軟體

自動調整設定範圍內雷射靈敏度的軟體

自動上下限設定軟體

自动辨識目標物的上限與下限後,設定量測範圍的軟體

簡單模式功能軟體

可以流程圖表方式簡單量測的軟體

註釋功能軟體

在觀察螢幕上顯示註釋的軟體

量測/刻度顯示軟體

在尺寸量測或觀察螢幕上顯示刻度的軟體

額定

電源電壓

100 至 240 VAC, 50/60 Hz

電流消耗

最大 450 VA

質量

約 25 kg(分離時探頭單體﹕ 約 8.5 kg)

*1 使用 50 倍 物鏡測量標準高度差為 2 μm 時。
*2 使用 100 倍 物鏡以直線頂點模式(影像平均:8 次)測量 KEYENCE 參考圖 1 μm 線寬的直線時。
*3 FDA (CDRH) 的雷射分類是基於 IEC60825-1 並根據 Laser Notice No.50 的要求而實施的。
*4 Windows 7 是美國微軟公司的註冊商標。

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