形狀測量雷射顯微鏡VK-X 系列

VK-X100K

形狀量測雷射顯微鏡

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產品規格

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型號

VK-X100K

類型

控制器

物鏡的倍率

15" 顯示器的倍率 100 倍

15" 顯示器的倍率 200 倍

15" 顯示器的倍率 400 倍

15" 顯示器的倍率 1000 倍

15" 顯示器的倍率 2000 倍

15" 顯示器的倍率 3000 倍

觀察/ 量測範圍

水平 (H): μm

15" 顯示器的倍率 100 倍

15" 顯示器的倍率 200 倍

15" 顯示器的倍率 400 倍

15" 顯示器的倍率 1000 倍

15" 顯示器的倍率 2000 倍

15" 顯示器的倍率 3000 倍

垂直 (V): μm

15" 顯示器的倍率 100 倍

15" 顯示器的倍率 200 倍

15" 顯示器的倍率 400 倍

15" 顯示器的倍率 1000 倍

15" 顯示器的倍率 2000 倍

15" 顯示器的倍率 3000 倍

工作距離: mm

15" 顯示器的倍率 100 倍

15" 顯示器的倍率 200 倍

15" 顯示器的倍率 400 倍

15" 顯示器的倍率 1000 倍

15" 顯示器的倍率 2000 倍

15" 顯示器的倍率 3000 倍

數值孔徑 (N.A)

15" 顯示器的倍率 100 倍

15" 顯示器的倍率 200 倍

15" 顯示器的倍率 400 倍

15" 顯示器的倍率 1000 倍

15" 顯示器的倍率 2000 倍

15" 顯示器的倍率 3000 倍

光學變焦

1 至 8 倍

綜合倍率

100 至 8000x

觀察/ 量測用光學系統

針孔共焦光學系統

高度量測

量測範圍

7 mm

顯示解析度

0.005 μm

重複精度 σ

0.02 μm *1

寬度量測

顯示解析度

0.01 μm

重複精度 3σ

0.05 μm *2

畫面格速率

像素計數

2048 x 1536, 1024 x 768, 1024 x 64

對於黑白影像

16 位元

對於彩色影像

RGB 各 8 位元

對於高度量測

21 位元

掃描頻率

面掃描

4 至 120 Hz

線掃描

7900 Hz

自動功能

AAG (自動增益)、自動對焦, 自動設定上下限, 雙掃描的光度設定

用於量測的
雷射光束光源

波長

紅色半導體雷射, 658 nm

量測用雷射光源

最大輸出

0.95 mW

雷射分類

第 2 類雷射產品 (IEC 60825-1,FDA (CDRH) Part1040.10) *3

受光元件

PMT (光電倍增管)

用於光學觀察的光源

100 W 鹵素燈

用於光學觀察的
彩色 CAMERA

攝像裝置

1/3 英呎彩色CCD 圖像傳感器

拍攝解析度

超高精細 (3072 x 2304)

自動調整

增益、快門速度

資料處理裝置

由 KEYENCE 隨 VK-X 一起提供的專用 PC (OS: Windows 7 Professional Edition) *4

額定

電源電壓

100 至 240 VAC, 50/60 Hz

電流消耗

最大 450 VA

質量

約 11 kg

*1 使用 50 倍 物鏡測量標準高度差為 2 μm 時。
*2 使用 50 倍 物鏡(光學 2 倍變焦)以直線頂點模式(影像平均:8 次)測量 KEYENCE 參考圖 1 μm 線寬的直線時。
*3 FDA (CDRH) 的雷射分類是基於 IEC60825-1 並根據 Laser Notice No.50 的要求而實施的。
*4 Windows 7 是美國微軟公司的註冊商標。

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