形狀測量雷射顯微鏡

VK-X 系列

可執行所有表面形狀測量

對於拍攝到的圖像可自由量測

“想測量高低差? 形狀實現數值化”

[剖面·3D 量測]
高度· 寬度· 角度截面積量測

對使用者在螢幕上指定的任何直線或曲線截面輪廓,VK-Analyzer 可以測量其高度、寬度、截面、角度或 R 值。

基板高度差  高度· 寬度量測(1000 倍)

基板高度差
高度· 寬度量測(1000 倍)

微攝鏡頭 R 量測(1000 倍)

微攝鏡頭
R 量測(1000 倍)

表面積· 體積量測

測量在螢幕上指定的任何區域中,物體的體積、表面積以及表面積比率。

光學薄膜 體積量測( 1000 倍)

光學薄膜
體積量測( 1000 倍)

太陽能電池  表面積量測(1000 倍)

太陽能電池
表面積量測(1000 倍)

想要比較"差異",實現數值化

[直線與面粗糙]
直線粗糙度量測

可以一邊觀察 2D 或 3D 圖像,一邊避開頂點或異物,測量目標部位的粗糙度。

想要比較"差異",實現數值化

面粗糙度量測

從視覺上來講存在差異,那麼差異究竟有多大呢? 可以量測面的粗糙度,透過數值確認平均化後的差異。

(例)功能性薄膜的暗紋(3000 倍)

樣品A: Ra 1.5 μm

樣品A: Ra 1.5 μm

樣品B: Ra 3.2 μm

樣品B: Ra 3.2 μm

區域薄膜厚度量測功能

不僅實現膜厚量測,還可獲取最表面和背面的形狀。

在觀察視野中的所有位置分析多個圖層。您可以顯示所選的單個圖層或多個圖層的3D 影像或截面輪廓,還可以量測使用者指定的位置形狀或薄膜厚度。

區域薄膜厚度量測功能

“想要一次性自動拍攝· 測量多個樣品”

[自動測量具備規則圖形的物件物]
自動寬度· 高度量測

對於具備規則圖形的物件物的寬度·高度,按照設定條件自動測量。由於是自動量測,因此不會產生人員造成的誤差,可以在短時間內完成量測。

光阻劑圖樣(6000 倍)

光阻劑圖樣(6000 倍)

光學薄膜(1000 倍)

光學薄膜(1000 倍)

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