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超高剛性單體結構

設置時不會產生歪曲, 大幅提昇精度、 穩定性

超高剛性單體結構

不變形、溫度變化影響也很小的高剛性單體結構。 採用一體成形的結構,可達傳統雷射刻印機無法實現的精度與穩定性。

全範圍的超高精度與穩定性

刻印位置精度:±30 μm
在範圍內 6400 個位置實施校正。 提昇校正解析度, 實現±30 μm 的刻印位置精度。

刻印位置精度:±30 μm

初期量測誤差:±15 μm
刻印頭結構之外, 更新掃描器馬達/驅動器。 輸入電源立刻實現高精度, 初期量測誤差量減低至±15 μm。

初期量測誤差:±15 μm

刻印位置重現性:±4 μm
新開發的掃瞄器馬達/驅動器, 對精度的要求絕不馬虎。 實現±4 μm 的刻印位置重現性。

刻印位置重現性:±4 μm

輸出穩定性:±2%
在傳統機器容易發生不穩定的低功率, 也達到 ±2% 的穩定性。 裁切等低功率用途亦可安心使用。

輸出穩定性:±2%